反射式高能電子繞射儀是深圳世紀芯開發的, 其重點是逆向研究和開發電路板等, 在破解原型機的基礎上. 進行相應的設計和功能參數修改.
1.電子槍部件
RHEED 電子槍是專門設計用於進行能量範圍從 10 到 3.0 keV 的衍射研究的電子光學系統。10 到 3.0 keV。通過結合靜電和磁性元件,電子槍具有高亮度、小光斑、低色散和極低的放氣率。電子槍可以完全安装在腔體外,可以原位維護,也可以烘烤。如果配備差分選擇系統,還可以在高壓環境下使用。

2. 控制功率部分
提供 30KeV 能量的電子槍功率控制部分設計精巧,由......的電子元件製造。 電子槍的設定參數,如能量、燈絲電流、束流強度等,以及束流強度、聚焦位置等,均可以數位方式顯示在顯示器上。這些參數,如能量、燈絲電流、光束強度等,可以數位方式顯示在顯示器上,同時也可以顯示光束強度、聚焦位置等。電子槍可透過簡單的控制台進行遠端控制。可從簡單的控制台進行遠端調整。系統具有自我診斷功能,可快速徹底檢查 RHEED 系統。
3. 電子束光罩
光束電流可透過電子束光罩開關,確保樣品上的電子負載極低。光圈切換信號也可以同時由外部信號觸發,這使得 RHEED 可以在有干擾磁場的情況下使用,也可以研究旋轉的樣品。
4. 電子束擺動
進行 RHEED 分析時,電子束必須以掠入角入射到樣品上。獨特的電子束擺動功能允許在不移動樣品的情況下調整和改變電子束角度。在對固定位置的樣品進行分析測試時,此功能非常有用。
5. 差分萃取系統
傳統的電子槍是為了在 10-4 torr 等較高壓力條件下工作而設計的,但這不可避免地會導致燈絲壽命縮短。RHEED 系統可選配差分萃取系統,以確保在高壓和活性氣體的情況下正常工作。與其他系統相比,燈絲部分的有效選擇使 RHEED 系統具有無與倫比的靈活性。
6. 電腦控制
RHEED 系統可完全由電腦控制。電子槍控制部分由介面模組和軟體套件組成,可確保 RHEED 的靈活性和可重複性。使用者所設定的參數可以儲存及調用,電子束的切換可以由電子束的光圈來控制,電子束的入射角可以由光束振盪特性來調整。
7. 螢光屏
螢光屏有各種尺寸,具有極高的空間解析度和極佳的對比度。螢幕上的鋁保護塗層可確保螢幕具有良好的電接觸特性,並可用於遮蔽真空室中的自由光,從而提高 RHEED 影像的對比度。螢光幕上的鋁質塗層可確保螢光幕具有良好的電接觸特性,並可遮蔽真空室中的自由光,從而改善 RHEED 影像的對比度。
8. 資料擷取與分析系統
RHEED Vision 是一套功能非常強大的資料擷取軟體,可搭配各種現有的 RHEED 系統使用。RHEED Vision 是一套功能非常強大的資料擷取軟體,可搭配各種現有的 RHEED 系統使用。此外,還有許多可選的資料簡化程式。此外,還提供其他硬體控制模組,例如鎖相磊晶成長、快門控制、雷射脈衝觸發開啟 PCB電路板等。