MEMS Device Packaging Technology-IC Packaging
2021-07-13
Con il progresso della tecnologia di imballaggio di IC MEMS, il sensore di imballaggio inerziale di IC MEMS e il sensore di frequenza angolare medio sono componenti inerziali con alta risoluzione e basso costo, che vengono utilizzati per misurare l'angolo di sbavatura e la velocità di rotolamento di rotazione dell'atteggiamento missilistico.
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